Ion Sources
Editat de Jianrong Zhang Autor Huashun Zhangen Limba Engleză Hardback – 8 noi 1999
Preț: 1341.56 lei
Preț vechi: 1636.05 lei
-18%
Puncte Express: 2012
Carte tipărită la comandă
Livrare economică 15-29 iunie
Specificații
ISBN-13: 9783540657477
ISBN-10: 3540657479
Pagini: 500
Ilustrații: XVIII, 476 p.
Dimensiuni: 155 x 235 x 32 mm
Greutate: 0.87 kg
Ediția:1999
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
ISBN-10: 3540657479
Pagini: 500
Ilustrații: XVIII, 476 p.
Dimensiuni: 155 x 235 x 32 mm
Greutate: 0.87 kg
Ediția:1999
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
Public țintă
ResearchCuprins
Introduction.- Gas Discharge Fundamentals.- Extraction System for Ion Sources.- Positive Ion Sources.- Giant Ion Sources.- Multiply Charged Ion Sources.- Mass and Energy Spectra of Ion Sources.- Negative Ion Sources.- Self-Neutralization of Beam Space Charge.- Beam Diagnostics for Ion Sources.
Caracteristici
This book is the most comprehensive book on ion sources as part of ion implantation technology, a newly established basic technology for microelectronic device processing
Includes supplementary material: sn.pub/extras
Includes supplementary material: sn.pub/extras