Cantitate/Preț
Produs
Total produse
Vezi coșul
Rapid Thermal Processing of Semiconductors de Victor E. Borisenko

Rapid Thermal Processing of Semiconductors: Microdevices

Autor Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh
en Limba Engleză Paperback – 20 iun 2013
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
Citește tot Restrânge

Toate formatele și edițiile

Toate formatele și edițiile Preț Express
Paperback (1) 133032 lei  6-8 săpt.
  Springer Us – 20 iun 2013 133032 lei  6-8 săpt.
Hardback (1) 134156 lei  6-8 săpt.
  Springer Us – 31 mai 1997 134156 lei  6-8 săpt.

Din seria Microdevices

Preț: 133032 lei

Preț vechi: 162234 lei
-18% Nou

Puncte Express: 1995
Preț estimativ în valută:
23537€ • 27421$ • 20554£

Carte tipărită la comandă

Livrare economică 20 ianuarie-03 februarie 26

 Adaugă în coș

Wish list
Gift list
Am citit!
Adaugă în listă
Preluare comenzi: 021 569.72.76

Specificații

ISBN-13: 9781489918062
ISBN-10: 148991806X
Pagini: 384
Ilustrații: XXII, 358 p.
Dimensiuni: 155 x 235 x 20 mm
Greutate: 0.54 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1997
Editura: Springer Us
Colecția Springer
Seria Microdevices

Locul publicării:New York, NY, United States

Public țintă

Research

Cuprins

1. Transient Heating of Semiconductors by Radiation.- 2. Recrystallization of Implanted Layers and Impurity Behavior in Silicon Crystals.- 3. Crystallization, Impurity Diffusion, and Segregation in Polycrystalline Silicon.- 4. Component Evaporation, Defect Annealing, and Impurity Diffusion in the III–V Semiconductors.- 5. Diffusion Synthesis of Silicides in Thin-Film Metal—Silicon Structures.- 6. Rapid Thermal Oxidation and Nitridation.- 7. Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition.- References.