Ion Sources
Autor Huashun Zhang Editat de Jianrong Zhangen Limba Engleză Paperback – 3 dec 2010
Preț: 1351.04 lei
Preț vechi: 1647.61 lei
-18%
Puncte Express: 2027
Carte tipărită la comandă
Livrare economică 13-27 iulie
Livrare prin curier în România Termenul estimat este afișat lângă disponibilitate.
Transport gratuit pentru acest produs Plată online sau ramburs, în funcție de opțiunile comenzii.
Retur gratuit în 14 zile Comandă securizată și suport în română.
Specificații
ISBN-13: 9783642085024
ISBN-10: 3642085024
Pagini: 496
Ilustrații: XVIII, 476 p.
Dimensiuni: 155 x 235 x 27 mm
Greutate: 0.74 kg
Ediția:Softcover reprint of hardcover 1st edition 1999
Editura: Springer
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
ISBN-10: 3642085024
Pagini: 496
Ilustrații: XVIII, 476 p.
Dimensiuni: 155 x 235 x 27 mm
Greutate: 0.74 kg
Ediția:Softcover reprint of hardcover 1st edition 1999
Editura: Springer
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
Public țintă
ResearchCuprins
Introduction.- Gas Discharge Fundamentals.- Extraction System for Ion Sources.- Positive Ion Sources.- Giant Ion Sources.- Multiply Charged Ion Sources.- Mass and Energy Spectra of Ion Sources.- Negative Ion Sources.- Self-Neutralization of Beam Space Charge.- Beam Diagnostics for Ion Sources.
Caracteristici
This book is the most comprehensive book on ion sources as part of ion implantation technology, a newly established basic technology for microelectronic device processing
Includes supplementary material: sn.pub/extras
Includes supplementary material: sn.pub/extras