Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen: Mikroelektronik
N. Bündgens Autor Günter Schumicki T. Evelbauer Autor Peter Seegebrecht H. Fehling, J.-H. Fock, J. Frick, R. Schneider, B. Strycharczyk, F. Zimmermannde Limba Germană Paperback – 8 mar 1991
Din seria Mikroelektronik
-
Preț: 466.90 lei -
Preț: 471.87 lei -
Preț: 402.00 lei -
Preț: 465.97 lei -
Preț: 469.46 lei - 15%
Preț: 477.58 lei
Preț: 494.08 lei
Preț vechi: 581.27 lei
-15%
Puncte Express: 741
Carte tipărită la comandă
Livrare economică 20 iulie-03 august
Livrare prin curier în România Termenul estimat este afișat lângă disponibilitate.
Transport gratuit pentru acest produs Plată online sau ramburs, în funcție de opțiunile comenzii.
Retur gratuit în 14 zile Comandă securizată și suport în română.
Specificații
ISBN-13: 9783540176701
ISBN-10: 3540176705
Pagini: 520
Ilustrații: XVI, 500 S. 168 Abb.
Dimensiuni: 170 x 244 x 27 mm
Greutate: 0.82 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria Mikroelektronik
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
ISBN-10: 3540176705
Pagini: 520
Ilustrații: XVI, 500 S. 168 Abb.
Dimensiuni: 170 x 244 x 27 mm
Greutate: 0.82 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria Mikroelektronik
Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany
Public țintă
Professional/practitionerCuprins
1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.