Cantitate/Preț
Produs

Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen: Mikroelektronik

N. Bündgens Autor Günter Schumicki T. Evelbauer Autor Peter Seegebrecht H. Fehling, J.-H. Fock, J. Frick, R. Schneider, B. Strycharczyk, F. Zimmermann
de Limba Germană Paperback – 8 mar 1991

Din seria Mikroelektronik

Preț: 49408 lei

Preț vechi: 58127 lei
-15%

Puncte Express: 741

Carte tipărită la comandă

Livrare economică 20 iulie-03 august

Livrare prin curier în România Termenul estimat este afișat lângă disponibilitate.
Transport gratuit pentru acest produs Plată online sau ramburs, în funcție de opțiunile comenzii.
Retur gratuit în 14 zile Comandă securizată și suport în română.

Specificații

ISBN-13: 9783540176701
ISBN-10: 3540176705
Pagini: 520
Ilustrații: XVI, 500 S. 168 Abb.
Dimensiuni: 170 x 244 x 27 mm
Greutate: 0.82 kg
Ediția:Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Editura: Springer Berlin, Heidelberg
Colecția Springer
Seria Mikroelektronik

Locul publicării:Berlin, Heidelberg, Germany

Public țintă

Professional/practitioner

Cuprins

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.