Diese Arbeit stellt ein Analyserahmenwerk vor, welches zur Uberprufung des korrekten Verhaltens eines technischen Systems eingesetzt wird. Im Fokus steht dabei die praktische Anwendung im industriellen Umfeld. Hierfur werden die verwendeten Formalismen weitestehend durch domanenspezifische Beschreibungsmoglichkeiten substituiert, um somit den Anwender beim Entwurfs- und Analyseprozess zu unterstutzen. Die Arbeit stellt konkrete Techniken vor, um ein formales Anlagenmodell aus bereits vorhandenen Daten zu generieren, um eine formale Spezifikation des Verhaltens des technischen Systems zu erstellen und um das Verhalten des Systems formal zu analysieren. Dabei wird die Steuerungshardware in den Prozess eingebunden und somit die Korrektheit des implementierten Steuerungsprogramms uberpruft. Auf diese Weise lasst sich fehlerhaftes Anlagenverhalten bereits vor der Inbetriebnahme aufdecken und beheben, wodurch die Kosten fur die Fehleranalyse und -korrektur im laufenden Betrieb eingespart werden.