Das vorliegende Lehrbuch ist eine Zusammenfassung des Wissens, welches bei der Anwendung von Mikrosensoren notwendig und hilfreich ist. Es soll der Stand der Technik vorgestellt werden und an ausgewahlten Beispielen der Einsatz verschiedenster Technologien und Losungsansatze aufgezeigt werden. Ein Schwerpunkt des Lehrbuches stellen MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical Systems) im ersten Teil des Lehrbuchs dar. Im zweiten Teil wird auf gangige Signalverarbeitungsalgorithmen eingegangen, die bei der Ansteuerung und Datenauswertung mit Hilfe von Mikrocontrollern eingesetzt werden. Das nachfolgende Lehrbuch beruht auf dem Vorlesungsstoff des Vorlesungsmoduls "Sensoren und Sensorinterfaces" im Masterstudiengang Elektrotechnik, welches an der FH Bielefeld gehalten wird.