Le présent travail a pour encadre l¿étude du dépôt de couche mince de l'oxyde de zinc (ZnO).l'objective est de déterminé les paramètres majeurs qui permettent d'obtenir des couches nano-structurées avec une technique simple et moins coûteuse qui est la technique spray ultrasoniques le ZnO présente la plus abondante des familles de nano-structures qu'un matériau peut former. La caractérisation morphologique faite par MEB et AFM nous a donné beaucoup de résultats qui nous ont permis de décrire des modèles de croissance, et de faire un lien entre les paramètres validés et les résultats obtenus.